如何充分利用真空环境中的加热效果
在真空环境中加热硅片时，存在一个问题：空气被排除了。没有空气就意味着没有对流作用，因此只能依靠辐射来传热。如果使用普通的反射器，大量的能量会直接流失到腔室壁中，这无疑是一种浪费。
为了解决这个问题，我们采用了金涂层。虽然听起来很复杂，但实际上目的很简单：防止热量流失，让热量能够直接作用于硅片上。
为什么选择黄金？
因为黄金在处理红外光方面表现更好，比铝或抛光钢更有效。通过在反射器表面涂上一层薄薄的黄金，就可以避免反射器吸收过多的热量。
这样一来，灯所产生的每一瓦特能量都能直接作用于目标物体上。这样就能实现更精确的温度控制，同时也能加快升温速度。效果自然更好。
应对高温问题
由于没有空气来带走热量，灯体的温度会非常高。为了防止灯体过早损坏，我们会使用高纯度的石英以及特殊的灯丝。
最棒的是，由于黄金涂层能很好地集中光线，因此即使降低总功率，仍能达到所需的表面温度。这样一来，真空泵和冷却系统的负担就会减轻，设备的压力也会随之降低。
需要注意的几点
虽然黄金在能量转换方面表现出色，但它质地柔软。请务必不要用粗糙的垫子或化学物质来擦拭这些反射器，否则会导致涂层脱落。哪怕有一道划痕，都可能让硅片出现局部过冷的情况，从而引发问题。因此，我们必须把这些反射器的内部视为“不可触碰”的区域。
另外，还要注意电源的稳定性。由于黄金涂层的效率很高，热量密度会迅速上升。如果PID控制装置设置不当，就可能导致温度过高，进而使硅片变形。只要确保功率设置合适，就不会有问题了。