为什么您的晶圆固化过程需要更好的反射器？
如果您仍然依赖热空气循环来进行半导体的深度加工，那么您一定经历过那种令人烦恼的等待时间。所谓“等待时间”，指的就是您不得不站在那里，盯着炉子，等待它达到合适的温度。这简直就是浪费时间，而在这个行业里，时间才是最重要的。
采用红外线加热则完全改变了这一状况。与其让大量空气被加热后再作用于晶圆，红外线可以直接照射到晶圆表面。这样就无需中间介质，也无需等待风将热量传递过来。
不过，这里有个问题：只有拥有高质量的反射器，红外线加热才能发挥最大作用。如果没有高品质的金或铝涂层，那么一半的能源只会被反射回机器内部。这不仅效率低下，还会造成金钱上的浪费。而经过精密切算设计的反射器，则能将能量精准地传递到晶圆所在的位置。
速度上的差异是惊人的。从几分钟缩短到几秒钟。使用红外线加热后，晶圆固化时间通常可减少40%到70%。此外，还可以省去那些庞大的鼓风机以及复杂的管道系统，因为这些设备只会妨碍生产流程。
当然，用红外线替代风扇并非那么简单。红外线具有方向性，如果反射器的角度偏差稍大一点，就会导致局部过热，进而导致晶圆变形或固化不均匀，这对质量控制来说无疑是个噩梦。
另外，还要注意热量负荷的问题。高功率的红外线装置会产生极高的热量。如果冷却系统无法有效散热，那么控制器就可能会损坏。
这就是为什么我们要如此重视反射器的表面几何形状。这其实是一种微妙的平衡——既要确保有足够的热量传递给晶圆，又要避免局部过热。这样才能快速完成工作，同时保证质量。