V prvním kroku se nastaví profil fotoresistu. Rozdíl teploty 5 °C na povrchu čipu způsobuje odchylky v jeho rozměrech, narušuje kvalitu pokrytí...

V prostředí lithografie stačí odchylka teploty během procesu zahřívání o 0,5 °C k zničení celé série výrobků. Fotorezistent na těchto destičkách má...