V prvním kroku se nastaví profil fotoresistu. Rozdíl teploty 5 °C na povrchu čipu způsobuje odchylky v jeho rozměrech, narušuje kvalitu pokrytí povrchu čipu a zbytečně spotřebovává drahé prostředky na opravy. My jsme vyvinuli speciální lampy pro tepelné zpracování fotoresistu, které odstraní tuto nejistotu.
Co je technicky důležité
Používáme halogenové lampy s krátkou vlnovou délkou v reflektorové komoře navržené tak, aby zajistily rovnoměrnost teploty na úrovni ±0,1 °C. Integrovaná pyrometrie umožňuje okamžitou kontrolu teploty, což zajišťuje přesné udržování teplot během procesu. Lampová hlava je kompatibilní s čistými místnostmi třídy 1–100 – používají se materiály s nízkou mírou uvolňování plynů a bez vzniku částic. Izolace z uhlíkových vláken snižuje termickou hmotnost a rychle stabilizuje teplotu, zatímco křemíková obálka odolává opakovaným teplotním cyklům. Očekávejte více než 5 000 hodin provozu při plné výkonnosti s poklesem výkonu menším než 5 %.
Proč to funguje
Tato jednotka umožňuje sušení čipů, tepelné zpracování fotoresistu, vysoušení čipů po balení a jejich čištění bez potřeby měnit nástroje. Vysoká rovnoměrnost teploty snižuje počet vad na povrchu čipů a zvyšuje celkovou efektivitu procesu. Rychlé dosažení požadované teploty zkracuje dobu zpracování, čímž se snižuje spotřeba energie a zvyšuje kapacita výroby. Procesní parametry se zlepšují, protože teplota je kontrolována přesně, nikoli odhadována.
Co je potřeba vědět
Lampa je kompatibilní se standardními rozhraními, ale geometrie reflektoru musí odpovídat velikosti čipu a jeho tvaru. Očekávejte krátký proces kalibrace za účelem nastavení parametrů PID a ověření teplotní distribuce v jednotlivých bodech procesu. Prodloužené používání lampy při teplotách blízkých horní hranici jejího provozu zkracuje její životnost; doporučujeme udržovat teplotu pod 650 °C pro dlouhodobou spolehlivost.