Wenn man die MEMS-Sensorwafern nach einer chemischen Reinigung trocknen lässt, braucht man Wärme – und zwar schnell. Doch hier liegt das Problem: Die Verwendung von Wärme in der Nähe brennbarer Lösungsmittel ist im Grunde genommen wie das Spielen mit Feuer. Nicht im übertragenen Sinne, sondern wirklich – es kann zu einer Katastrophe kommen.
Deshalb verwenden wir spezielle Infrarotlampen. Sie erledigen die Aufgabe, ohne dass der Arbeitsbereich zur Gefahrenzone wird.
Sicherheit durch Versiegelung
Standardmäßige Infrarotlampen haben offene Elemente. In einem Raum voller flüchtiger Chemikaliendämpfe ist das eine große Gefahr. Ein Funke oder ein überhitztes Element können zur Katastrophe führen.
Um das zu verhindern, verbauen wir die Lampen in einen robusten Quarz- oder Edelstahlbehälter. Das fungiert wie ein physischer Schutz. Wir verwenden hochwertige Dichtungen, damit keine Dämpfe in die Elektronik gelangen und keine Hitze entweichen kann, die gefährliche Hotspots im Gehäuse erzeugt. Es geht dabei um Sicherheit.
Die richtige Temperatur einstellen
Man kann die Wafern nicht einfach mit viel Wärme bestrahlen – sonst verformen sie sich. Wir stimmen das Verhältnis zwischen Leistung und Länge sorgfältig ab, damit alles stabil bleibt. Durch den Einsatz von Kurzwell-Infrarotlicht dringt die Wärme direkt durch die Flüssigkeitsschicht auf der Oberfläche der Wafer. Das ist schnell und effizient. Dadurch verbringen die Wafer weniger Zeit in der Gefahrenzone.
Aber man kann es nicht einfach so lassen. Man benötigt einen schnell reagierenden PID-Regler. Wenn die Luftzufuhr nachlässt oder der Transporteur ausfällt, müssen die Lampen sofort abgeschaltet werden. Andernfalls werden die Wafer zerstört – oder schlimmer noch, das Gehäuse brennt aus.
Die Realität des Designs
Nichts ist perfekt. Der versiegelte Behälter ist zwar sicher, aber er erhöht auch die thermische Masse. Was bedeutet das für Sie? Die Aufwärmzeit wird etwas länger sein als bei Lampen, die nicht versiegelt sind. Man muss diese Zeit einfach in die Gesamtzeit des Prozesses einbeziehen.
Noch ein Tipp: Achten Sie auf die Isolierung der Kabel. Einige Infrarot-Ladegeräte nutzen Hochfrequenzschaltung, die Störungen in die MEMS-Sensoren bringen kann. Eine ordentliche Erdung hilft dabei sehr.