Wenn man die MEMS-Sensorwafern nach einer chemischen Reinigung trocknen lässt, braucht man Wärme – und zwar schnell. Doch hier liegt das Problem: Die...

Umgang mit defekten Infrarotlampen bei der Wafer-Trocknung Seien wir ehrlich: Wenn eine Infrarotlampe in einer Halbleiterfabrik versagt, ist das ein...

In der Fertigungsstätte kann bereits eine einzige Wasserstelle nach dem CMP-Vorgang dazu führen, dass ein Wafer, der die Polierphase überstanden hat,...

Auf dem Fertigungsboden kann ein einzelnes Mikron zurückbleibendes Wasser den Ertrag torpedieren. Konvektionsöfen kommen mit dem thermischen Budget...

Die Wafer kommen aus der letzten Spülung, und die Uhr beginnt zu ticken. Lässt man sie zu lange stehen oder sorgt während des Trocknens für ein...