Die richtige Temperatur mit IR-Halbleiterheizungen erreichen
Wenn Sie den Kohlenstoffausstoß Ihrer Fabrik reduzieren möchten, ist der Umstieg auf Infrarot-Heizlampen eine kluge Entscheidung. Anstatt einen ganzen Ofen zu erhitzen und Energie für die Luft um das Wafer zu verschwenden, zielen die IR-Heizlampen direkt auf das Zielobjekt ab.
Aber es gibt ein Problem: Man kann die Heizung nicht einfach so einstellen und vergessen. Wenn man nicht genau aufpasst, kann man die Wafer zerstören. Um die Ziele im Bereich der grünen Energie wirklich zu erreichen, ohne wertvolle Materialien zu verschwenden, benötigt man eine Thermoelementeinrichtung, die in der Lage ist, der Intensität der IR-Heizlampen gerecht zu werden.
Das Problem mit der Reaktionszeit
IR-Heizlampen heizen unglaublich schnell auf – wirklich sehr schnell. Wenn das Thermoelement zu langsam reagiert, wird die gewünschte Temperatur bereits erreicht, bevor das System es überhaupt bemerkt. Dadurch können die Wafer beschädigt werden. Wir verwenden in der Regel Thermoelemente vom Typ K oder N, denn sie liefern den PID-Steuerungen die notwendigen Daten, um die Temperaturen stabil zu halten. Wenn der Kreislauf gut funktioniert, nehmen die Lampen nur so viel Energie auf, wie sie wirklich benötigen. Das ist einfacher, effizienter und besser für die Umwelt.
Das Gleichgewicht finden
In einer Reinräumumgebung ist Kontamination ein großes Problem. Um Ausgasungen zu vermeiden, verwenden wir chemisch inerte Schalen um die Sensoren. Außerdem spielt auch die Größe der Sensoren eine Rolle. Dicke Sensoren sind zwar widerstandsfähiger, reagieren aber langsamer. Wir verwenden daher meist dünne Leitungen, um die Reaktionszeit zu verkürzen. Achten Sie jedoch darauf, beim Einbau vorsichtig zu sein – die Sensoren sind empfindlich, und es ist leicht, die Leitungen zu beschädigen, wenn man nicht aufpasst.
Den idealen Punkt finden
Die richtige Platzierung dieser Sensoren in der IR-Anordnung ist schwierig. Wenn das Thermoelement zu weit entfernt ist, misst man nur die Lufttemperatur – das ist nutzlos. Wenn es jedoch zu nahe ist, trifft das Infrarotlicht direkt auf den Sensor, was zu Fehlern in den Messwerten führt. Die gemessene Temperatur liegt dann deutlich über der tatsächlichen Temperatur des Wafers. Man muss also einen Mittelweg zwischen dem Sensor und dem Brennpunkt der Lampe finden, um genaue Messwerte zu erhalten. Das erfordert etwas Geduld und Kalibrierung – aber es ist die einzige Möglichkeit, sicherzustellen, dass die Energieeinsparungen nicht zu Verlusten in der Produktivität führen.