چرا برای فرآیند خشک کردن ویفرها، به یک بازتابنده بهتر نیاز داریم؟
اگر هنوز از روش گرمایش با هوای داغ برای فرآوری نیمههادیها استفاده میکنید، احتمالاً احساس کنید که این روش باعث تأخیر در فرآیند کاری شما میشود. منظورم همان زمان انتظار است؛ زمانی که مجبورید در حالی که به فرن روی آوردهاید، منتظر بمانید تا دمای آن به حد مورد نظر برسد.
این کار، هدر دادن وقت است؛ و در این صنعت، وقت همه چیز است.
استفاده از سیستم گرمایش مادون قرمز، کل وضعیت را تغییر میدهد. در این روش، به جای گرم کردن هوای موجود در مخزن، انرژی مستقیماً به سطح ویفر تابیده میشود. نیازی به انتظار وجود ندارد.
اما مشکل اینجاست: سیستم مادون قرمز تنها در صورتی کار میکند که از بازتابندههای با کیفیت استفاده شود.
فکر کنید: بدون استفاده از لایههای طلا یا آلومینیوم با کیفیت، نیمی از انرژی مصرفی، به سمت بدنه دستگاه بازتاب میشود. این کار نه تنها غیرکارآمد است، بلکه هدر دادن پول نیز محسوب میشود. یک بازتابنده با طراحی دقیق، این انرژی را در جای مناسبی متمرکز میکند.
تفاوت سرعت، واقعاً چشمگیر است؛ یعنی از ثانیهها به دقایق تغییر میکند. با استفاده از سیستم مادون قرمز، میتوانید زمان لازم برای فرآیند خشک کردن را ۴۰ تا ۷۰ درصد کاهش دهید. علاوه بر این، فضای مورد نیاز برای نصب دستگاه نیز کمتر میشود؛ چون دیگر نیازی به استفاده از فنهای بزرگ و لولههای عایقبندی شده نیست.
البته، این کار به اندازه سادهای که فکر میکنید، نیست. سیستم مادون قرمز نیاز به بازتابندههای دقیق دارد؛ اگر زاویه بازتابنده کمی اشتباه باشد، نقاط گرمی ایجاد میشود. این امر منجر به تغییر شکل ویفر یا خشک کردن ناهموار آن میشود؛ که در واقع یک مشکل بزرگ برای کنترل کیفیت است.
همچنین، باید مراقب میزان گرمای تولید شده نیز باشید؛ سیستمهای مادون قرمز با توان بالا، بسیار داغ میشوند. اگر سیستم خنککننده دستگاه قادر به خنک کردن این گرما نباشد، کنترلکنندههای دستگاه خراب خواهند شد.
به همین دلیل، ما زمان زیادی را صرف توجه به جغرافیای سطحی بازتابندهها میکنیم؛ این کار، یک رقص ظریف بین استفاده از انرژی بالا و توزیع مناسب گرما بر روی ویفر است. هدف، انجام کار به سرعت، اما به درستی، است.