در کارخانه تولید، وجود یک نشانه آب پس از فرآیند CMP میتواند باعث خراب شدن چیپهایی شود که از مرحله صیقلزنی عبور کردهاند. خشک کردن ویفر پس از فرآیند CMP، چیزی نیست که بتوان آن را نادیده گرفت؛ بلکه یک مرحله ضروری است.
اگر دمای هیتر نامنظم باشد، یکنواختی سطح ویفر از بین میرود. تنش سطحی نیز باعث ایجاد خطوط روی سطح ویفر میشود؛ این نقصها نیز به مرحله لیتوگرافی منتقل میشوند. ما هیترهای مورد استفاده برای خشک کردن ویفر پس از فرآیند CMP را بر اساس این واقعیت طراحی کردهایم: عدم تولید هیچ ذرهای، یکنواختی حرارتی در حد ±۰.۱ درجه سانتیگراد در سراسر ویفر، و قابلیت تکرار پذیری بالا.
مشخصات فنی تنها زمانی مفید هستند که با واقعیتهایی که ویفر تجربه میکند، مطابقت داشته باشند. هیترها از اجزای مادون قرمز کوتاهامواج در یک ساختار کوارتزی تشکیل شدهاند؛ این اجزا دارای جرم حرارتی پایینی بوده و پاسخ سریعی نشان میدهند. وقتی درب باز و بسته میشود، دما به سرعت به حالت تعادل میرسد.
کنترل دما به صورت حلقه بسته انجام میشود؛ سنسورهای دقیق نیز برای کنترل دما استفاده میشوند. این امر باعث میشود که دمای مناسب برای فرآیند فوتورزیست برقرار بماند. استانداردهای مربوط به اتاقهای پاک نیز به درستی رعایت میشوند: هیچ گازی از ویفر خارج نمیشود، اتصالات به درستی بسته میشوند، و سطح ویفر به گونهای است که هیچ ذرهای در آن باقی نمیماند.
مزیت این روش این است که خشک کردن ویفر به طور پایدار انجام میشود و تعداد ذرات موجود در ویفر کاهش مییابد.
نکته مهم این است که این سیستم، نوساناتی را که نمیتوانیم تحمل کنیم، از بین میبرد. ما خشک کردن یکنواختی داریم، پیشرفت خشک شدن ویفر قابل پیشبینی است، و تعداد بازسازیها نیز کم میشود. مصرف انرژی نیز کاهش مییابد، زیرا جرم حرارتی پایین است و چرخه کاری نیز دقیق است؛ در عین حال، زمان کاری نیز بالا باقی میماند. دادههای ما نشان میدهد که این دستگاهها میتوانند ۲۴ ساعته کار کنند، بدون هیچ توقف غیرمنتظرهای.
وقتی کنترل حرارتی به درستی انجام شود، فرآیندهای تولید نیز بهتر خواهند بود، و ویژگیهای فوتورزیست نیز در تمام محمولهها یکسان خواهند بود.
نصب این دستگاهها ساده است، اما تنظیم آنها ضروری است. هیتر باید در همان صفحه با چاکو قرار گیرد و با پرده گازی نیز هماهنگ باشد. در غیر این صورت، حتی با کنترل دقیق دما، مشکلاتی در لبههای ویفر ایجاد خواهد شد.
پس از نصب، نیاز به یک آزمایش کوتاه برای تنظیم پارامترهای دستگاه وجود دارد؛ پس از آن، همان روشهایی که همیشه استفاده کردهایم، ادامه خواهد داشت: اندازهگیری، کنترل، و ثبت اطلاعات.