تنظیم دمای مناسب با استفاده از لامپهای گرمایشی نیمههادی مادون قرمز
اگر میخواهید کاهش آلایندههای تولیدی کارخانه خود را داشته باشید، استفاده از لامپهای گرمایشی مادون قرمز گزینهای هوشمندانه خواهد بود. در این روش، به جای گرم کردن کل فر، انرژی صرفاً بر روی سطح ویفر مورد نظر مصرف میشود.
اما مشکل اینجاست که نمیتوانید فقط آن را تنظیم کنید و فراموشش کنید؛ در غیر این صورت، ویفرهای شما خراب خواهند شد. برای رسیدن به اهداف مربوط به استفاده از انرژی پاک، بدون اینکه مواد باارزش را هدر دهید، به سیستمی نیاز دارید که بتواند شدت تابش لامپهای مادون قرمز را کنترل کند.
مشکل تأخیر در پاسخگویی
لامپهای مادون قرمز به سرعت بسیار زیادی گرم میشوند. اگر سنسور مربوطه کند پاسخ دهد، دمای مورد نظر قبل از اینکه سیستم متوجه شود، حاصل خواهد شد؛ این امر باعث خرابی ویفرها میشود. ما معمولاً از سنسورهای نوع K یا N استفاده میکنیم؛ زیرا آنها دادههای لازم را در زمان واقعی به کنترلرها ارائه میدهند. وقتی که این سیستم به خوبی کار کند، لامپها تنها مقدار انرژی لازم برای گرم کردن ویفر را مصرف میکنند؛ این روش سادهتر، بهتر و مفیدتر برای محیط زیست است.
تعادل در نصب سنسورها
در اتاقهای استریل، آلودگی یک مشکل بزرگ است؛ برای جلوگیری از خروج گازهای مضر، از پوششهای شیمیایی برای سنسورها استفاده میشود. همچنین، اندازه سنسور نیز موضوع مهمی است؛ سنسورهای ضخیم مقاومت بیشتری دارند، اما پاسخگویی آنها کندتر است. ما معمولاً از سنسورهای نازکتر استفاده میکنیم تا زمان پاسخگویی کمتر شود. توجه داشته باشید که هنگام نصب سنسورها باید مراقب باشید؛ زیرا آنها شکننده هستند و اگر مراقب نباشید، سیمهای آنها به راحتی میشکنند.
یافتن نقطه تعادل
نصب صحیح سنسورها در آرایه لامپهای مادون قرمز کار دشواری است. اگر سنسور خیلی دور باشد، فقط دمای هوا اندازهگیری میشود؛ این کار بیفایده است. اما اگر سنسور خیلی نزدیک باشد، تابش مادون قرمز مستقیماً بر روی سنسور تأثیر میگذارد؛ در این صورت، دمای اندازهگیری شده بسیار بالاتر از دمای واقعی ویفر خواهد بود. برای داشتن اندازهگیری دقیق، باید نقطه تعادل مناسبی بین سنسور و نقطه تمرکز لامپ پیدا کرد. این کار نیاز به صبر و کالیبراسیون دارد، اما تنها راه برای اطمینان از کاهش مصرف انرژی، بدون اینکه باعث کاهش کیفیت محصول شود، است.