سنسور دما برای ابزار ویفر
جلوگیری از انفجار ابزارهای تمیزکردن ویفرها
بیایید صادق باشیم: قرار دادن لامپهای گرمایشی در محیطهای شیمیایی، کاری مشابه بازی با آتش است. وقتی که...
تولید نوار حرارتی با دمای بالا
در کارخانههای لیتوگرافی، فرآیند گرم کردن فوتورزیست نوعی «گرمشدن اولیه» نیست؛ بلکه یک مرحله حرارتی است که کنترل عرض خطوط را تضمین میکند. هرگونه...
گرمکن فوتورزیست با دقت دمایی بالا
در فرآیند لیتوگرافی، تغییر دمای حدود ۰.۵ درجه سانتیگراد در دمای پخت، میتواند باعث از بین رفتن کل محصولات تولید شده شود. فوتورزیست موجود روی ویفرها،...