وقتی که ویفرهای سنسورهای MEMS را پس از شستشوی شیمیایی خشک می‌کنید، به گرما نیاز دارید؛ و این گرما باید به سرعت فراهم شود. اما مشکل اینجاست که انجام...

چگونه با خرابی لامپ‌ها در فرآیند خشک کردن ویفرها برخورد کنیم؟ باید صادقانه بگوییم: وقتی که یک لامپ مادون قرمز در کارخانه‌های تولید نیمه‌هادی خراب...

در سالن لیتوگرافی، انحراف نیم درجه‌ای در نرم‌پخت (soft bake) رزین حساس به نور کافی است تا کنترل ابعاد بحرانی (CD) را خارج از محدوده مشخصات نگه دارد....

وافر پس از مرحله شستشوی نهایی خارج می‌شود و زمان شروع می‌شود. اگر آن را بیش از حد نگه دارید یا در زمان خشک‌کردن پروفیل حرارتی نامتوازنی اعمال کنید،...