وقتی که ویفرهای سنسورهای MEMS را پس از شستشوی شیمیایی خشک میکنید، به گرما نیاز دارید؛ و این گرما باید به سرعت فراهم شود. اما مشکل اینجاست که انجام این کار در محیطی که حاوی مواد قابل اشتعال است، مانند بازی با آتش است؛ نه به معنای استعاری، بلکه واقعاً میتواند منجر به انفجار شود.
به همین دلیل از لامپهای مخصوص مادون قرمز استفاده میکنیم. این لامپها کار خود را بدون اینکه فضای کاری را به یک منطقه خطرناک تبدیل کنند، انجام میدهند.
حفظ سلامت ویفرها
لامپهای مادون قرمز استاندارد، دارای ساختار باز هستند؛ در چنین محیطی، این موضوع میتواند خطرناک باشد. یک جرقه یا گرمای بیش از حد میتواند منجر به فاجعه شود.
برای جلوگیری از این اتفاق، لامپها را درون محفظههای سخت از جنس کوارتز یا فولاد ضدزنگ قرار میدهیم؛ این محفظهها نوعی سپر فیزیکی برای محافظت از ویفرها هستند. همچنین از جوشکاریهای مقاوم در برابر حرارت و سیستمهای ضدنشت برای جلوگیری از نفوذ گازها به داخل دستگاههای الکترونیکی و خروج گرما استفاده میکنیم. هدف این کار، ایجاد اطمینان برای کاربر است.
تنظیم دما
نمیتوانید صرفاً از گرما برای خشک کردن ویفرها استفاده کنید؛ زیرا این کار باعث تغییر شکل ویفرها میشود. ما نسبت توان به طول ویفرها را به دقت تنظیم میکنیم تا وضعیت ویفرها پایدار بماند. با استفاده از لامپهای مادون قرمز، گرما مستقیماً از طریق لایه مایع روی سطح ویفرها عبور میکند؛ این روش سریع و کارآمد است. به این ترتیب، ویفرها مدت زمان کمتری را در محیط خطرناک سپری میکنند.
اما نمیتوانید صرفاً از این لامپها استفاده کرده و فراموش کنید؛ نیاز به کنترلکنندههای سریع عمل دارید. اگر جریان هوا کاهش یابد یا سیستم انتقال ویفرها متوقف شود، این لامپها باید فوراً قطع شوند؛ در غیر این صورت، ویفرها خراب خواهند شد.
واقعیت طراحی
هیچ چیز کامل نیست؛ این محفظههای سخت برای ایمنی عالی هستند، اما باعث افزایش جرم حرارتی میشوند. این موضوع چه تأثیری بر روی فرآیند خشک کردن ویفرها دارد؟ زمان لازم برای خشک شدن ویفرها کمی بیشتر خواهد بود. بنابراین باید این تأخیر را در برنامه زمانی خود لحاظ کنید.
یک نکته دیگر: مراقب عایقبندی کابلها باشید؛ برخی از منابع تغذیه مادون قرمز از سیستمهای تبدیل فرکانس بالا استفاده میکنند که میتواند نویز را به داخل دستگاههای MEMS منتقل کند. استفاده از سیستمهای زمینسازی مناسب میتواند کمک کند.