در مرحله اول، پروفایل فوتورزیست در حین فرآیند خشک کردن تنظیم می‌شود. تغییر دما به میزان ۵ درجه سانتی‌گراد در سطح ویفر، باعث اختلال در کیفیت تولید...

در فرآیند لیتوگرافی، تغییر دمای حدود ۰.۵ درجه سانتی‌گراد در دمای پخت، می‌تواند باعث از بین رفتن کل محصولات تولید شده شود. فوتورزیست موجود روی ویفرها،...