Chauffage de séchage de la wafer du capteur MEMS
Lorsque l’on sèche lesWafer de capteurs MEMS après un nettoyage chimique, il est nécessaire d’utiliser de la chaleur – et rapidement. Mais voici le...
Audit énergétique pour le séchage en usine
Gérer les pannes des lampes dans les machines de séchage des 웨이퍼
soyons honnêtes : quand une lampe infrarouge tombe en panne dans une usine de...
Chauffage de séchage des wafers après CMP
Sur le plan de fabrication, une seule tache d’eau après le procédé CMP peut détruire un circuit imprimé qui a réussi à passer par l’étape de...
Infrarouge vs Convection pour le séchage des plaquettes
Sur le terrain de production, un seul micron d’eau résiduelle peut compromettre le rendement. Les fours à convection ne peuvent tout simplement pas...
Module infrarouge de séchage de photoresist.
Sur le plan de lithographie, une dérive d’un demi-degré lors du soft bake de la résine photosensible suffit à faire sortir le contrôle de dimension...
Chauffage infrarouge pour séchage de plaquettes
La plaquette sort du rinçage final, et le chronomètre commence à tourner. Laisser trop longtemps ou appliquer un profil thermique inégal pendant le...