בשלב זה, מתקבעת פרופיל הפוטורזיסט במהלך החימום הראשון. שינוי של 5°C בטמפרטורה על פני הוופר עלול לגרום לשינוי ב-CD, לפגיעה באיכות החיבורים בין השכבות...

בתהליך הליתוגרפיה, שינוי של 0.5°C בטמפרטורת החימום עלול לגרום לכך שכל המוצרים שנוצרו יהיו לא תקינים. הפוטורזיסט שנמצא על הוואפרים דורש פיקוח קפדני על...

בקומת הליתוגרפיה, סטייה של חצי מעלות בתהליך האפייה הרכה של הפוטורסיסט מספיקה כדי לדחוף את בקרת המידות הקריטיות (CD) מחוץ למפרט. הפלטות מצטברות, פסולת...