חיממן לייבוש שבבי חיישני MEMS
כאשר מייבשים שבבי חיישני MEMS לאחר ניקוי כימי, יש צורך בחום – ויש צורך בו במהירות. אך הבעיה היא שביצוע פעולה זו בסביבה של חומרים דליקים דומה למעשה...
בדיקת אנרגטית לייבוש במפעל
טיפול בכשלי הנורות בתהליך ייבוש הוופרים בואו נהיה כנים: כשנורת אינפרא-אדום נשברת במפעל לייצור שבבים, זו סיוט אמיתי. זה לא קשור רק להחלפת החלק הפגום....
מחמם לייבוש שבבים לאחר תהליך CMP
בחדר הייצור, סימן מים אחד לאחר תהליך CMP יכול להרוס כרטיס שעבר את תהליך הניקוי. ייבוש הוופר לאחר CMP אינו דבר שניתן להמתין עם ביצועו – זו חובה. אם...
אינפרא אדום מול קונבקציה לייבוש וופרים
בקומת הייצור, מיקרון אחד של מים שנותר יכול לפגוע בתפוקה. תנורי קונבקציה פשוט לא מצליחים לעמוד בתקציב החום ובמשמעת חלקיקים שנדרשים ב-nodes מתקדמים....
מודול אינפרא אדום ליבוש פולימר פוטו רעיל
בקומת הליתוגרפיה, סטייה של חצי מעלות בתהליך האפייה הרכה של הפוטורסיסט מספיקה כדי לדחוף את בקרת המידות הקריטיות (CD) מחוץ למפרט. הפלטות מצטברות, פסולת...
מאייד אינפרא אדום לייבוש וופרים
הוופר יוצא מהשטיפה הסופית, והשעון מתחיל לתזמן. אם משאירים אותו לשבת יותר מדי זמן, או נותנים לו פרופיל תרמי לא אחיד במהלך הייבוש, שאריות הממס מתחילות...