फैब फ्लोर पर, 0.2°C जितना भी तापमान-परिवर्तन हो, इससे फोटोरेसिस्ट के गुणधर्मों पर बुरा प्रभाव पड़ सकता है; ऐसी स्थिति में वेफरों पर भी खराब प्रभाव पड़ता है। वेफर, तापीय अस्थिरता को बर्दाश्त नहीं कर पाते। इसलिए हमने ऐसे इन्फ्रारेड हीटर बनाए, जिनसे तापमान में कोई परिवर्तन न हो, एवं जिनका उपयोग क्लीनरूम में भी किया जा सके।
तकनीकी दृष्टि से महत्वपूर्ण बातें
हम शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड तत्वों का उपयोग करते हैं; ऐसे तत्व ऊष्मा को सीधे प्लेट में पहुँचाते हैं। एक्टिव जोन में तापमान की एकरूपता ±0.1°C तक होती है। चक्र-दर-चक्र तापमान में ±0.5°C तक ही परिवर्तन होता है; इससे सॉफ्ट बेक एवं हार्ड बेक प्रक्रियाओं में सटीकता बनी रहती है।
हीटर का निर्माण क्वार्ट्ज एवं उच्च गुणवत्ता वाले सिरेमिक सामग्री से किया गया है; इसमें कोई कार्बनिक पदार्थ नहीं है। इसके डिज़ाइन के कारण कणों का उत्पादन बहुत कम होता है; इससे क्लास 1–100 वाले वातावरण में भी इसका उपयोग संभव है। इसका नियंत्रण प्रणाली स्थिर है, एवं इसकी तापीय जड़त्वता भी कम है। इसके कारण कैसेट लोड होने के बाद तापमान जल्दी ही स्थिर हो जाता है; इससे अनावश्यक समय की बचत होती है, एवं सटीकता भी बनी रहती है।
लिथोग्राफी में इसका क्या लाभ है?
लिथोग्राफी में, फोटोरेसिस्ट की संवेदनशीलता के कारण तापमान ही CD नियंत्रण एवं दोषों को कम करने में महत्वपूर्ण भूमिका निभाता है। स्थिर तापमान से रीवर्क की आवश्यकता कम हो जाती है, एवं तापमान में भी सटीकता बनी रहती है।
तेज़ प्रतिक्रिया के कारण ऊष्मा-उत्पादन में कमी आती है; कम वजन के कारण ऊर्जा-खपत भी कम होती है। आप वही साइज़ एवं कनेक्टरों का उपयोग कर सकते हैं, लेकिन इससे विविधता कम हो जाती है, एवं उत्पादन में सटीकता बढ़ जाती है।
आपको क्या जानना आवश्यक है?
मानक हीटर प्लेटों पर इसका उपयोग आसानी से किया जा सकता है; लेकिन थर्मल इंटरफेस एवं सेंसर की स्थिति की जाँच आवश्यक है। मिलीमीटर स्तर पर होने वाली त्रुटियाँ भी एकरूपता पर प्रभाव डाल सकती हैं।
ऑर्डर देने से पहले वोल्टेज, एम्पीयर एवं कनेक्टर के प्रकार की जाँच आवश्यक है। इंस्टॉलेशन के बाद, प्लेट एवं वेफर के बीच के अंतर को मापने हेतु एक छोटा टेस्ट किया जाना आवश्यक है।