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हॉट प्लेट का विकल्प इन्फ्रारेड हीटर

हॉट प्लेट का विकल्प इन्फ्रारेड हीटर

फैब फ्लोर पर, 0.2°C जितना भी तापमान-परिवर्तन हो, इससे फोटोरेसिस्ट के गुणधर्मों पर बुरा प्रभाव पड़ सकता है; ऐसी स्थिति में वेफरों पर भी खराब प्रभाव...
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