पहले चरण में ही फोटोरेजिस्ट का प्रोफाइल निर्धारित किया जाता है। वेफर के तापमान में 5°C का अंतर, CD मानों को बिगाड़ देता है, ऑवरले प्रक्रिया को नष्ट...

लिथोग्राफी प्रक्रिया में, बेकिंग तापमान में 0.5°C का अंतर ही पूरे उत्पादन सेट को नष्ट करने के लिए पर्याप्त है। वेफरों पर मौजूद फोटोरेसिस्ट के लिए...