लिथोग्राफी प्रक्रिया में, बेकिंग तापमान में 0.5°C का अंतर ही पूरे उत्पादन सेट को नष्ट करने के लिए पर्याप्त है। वेफरों पर मौजूद फोटोरेसिस्ट के लिए तापमान नियंत्रण बहुत ही महत्वपूर्ण है; यदि इसे ठीक से नियंत्रित न किया जाए, तो लाइन-विड्थ नियंत्रण खराब हो जाता है। हमने ऐसा प्रीसिजन टेम्परेचर फोटोरेसिस्ट हीटर विकसित किया है, ताकि तापमान नियंत्रण हर बार सही रहे।
महत्वपूर्ण बातें:
यह हीटर शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड तरंगों का उपयोग करके सीधे ही ऊष्मा प्रदान करता है; इससे तापीय विलंब कम रहता है। वेफर पर तापमान स्थिर रहता है – ±0.1°C के भीतर, और बार-बार प्रक्रिया करने पर भी यह स्थिरता ±0.05°C के भीतर ही रहती है। तापमान में परिवर्तन 2°C/सेकंड की दर से होता है, और ओवरशूट 0.2°C से कम ही रहता है। इससे “सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” प्रक्रियाएँ ठीक तरह से ही होती हैं। क्लीनरूम क्लास 1–100 के अनुरूप होने हेतु, कम गैस उत्सर्जन वाली सामग्रियों का उपयोग किया गया है; इससे बेकिंग प्रक्रिया में कोई दोष नहीं पैदा होता। यह हीटर 24/7 काम करता है, एवं इसकी उम्र 5,000+ घंटों तक है; इस दौरान इसकी कार्यक्षमता में 5% से भी कम कमी आती है।
वास्तविकता:
फोटोरेसिस्ट प्रसंस्करण में, तापमान ही महत्वपूर्ण भूमिका निभाता है। जब तापमान नियंत्रित रहता है, तो उत्पादों के आयाम एवं गुणवत्ता स्थिर रहती है। इससे पुनर्प्रसंस्करण की आवश्यकता कम हो जाती है, उत्पादन स्थिर रहता है, एवं नियोजन भी आसान हो जाता है।
अन्य जानकारी:
इस हीटर को स्थापित करने हेतु ठोस थर्मल कपलिंग एवं स्वच्छ इंटरफेस आवश्यक है; यदि इंटरफेस ठीक न हो, तो तापमान नियंत्रण खराब हो जाता है। यह हीटर मानक चक इंटरफेसों में भी काम करता है, लेकिन फिर भी चैंबर की ज्यामिति एवं वायुप्रवाह के अनुसार ही इसका उपयोग करना आवश्यक है।
निष्कर्ष:
थोड़े समय के लिए ही इस हीटर का उपयोग करके इसका प्रदर्शन जाँचना आवश्यक है; ऐसा करने से ही इसके सेटपॉइंट ठीक तरह से निर्धारित हो जाते हैं। एक बार यह ठीक से स्थापित हो जाने के बाद, यह हीटर फैक्ट्री की आवश्यकताओं के अनुरूप ही काम करता है।