फोटोरेसिस्ट सुखाने वाला इन्फ्रारेड मॉड्यूल
On the lithography floor, फोटोरेज़िस्ट सॉफ्ट बेक में आधा डिग्री का ड्रिफ्ट भी क्रिटिकल डायमेंशन (CD) कंट्रोल को स्पेक से बाहर करने के लिए पर्याप्त...
वाफर सुखाने वाला इन्फ्रारेड हीटर
वाफर अंतिम रिंसिंग से बाहर आता है, और घड़ी चलना शुरू हो जाती है। अगर इसे बहुत देर तक छोड़ दिया जाए, या सुखाने के दौरान असमान तापीय प्रोफाइल दिया जाए,...