वेफर टूल के लिए तापमान संवेदक
अपने वेफर सफाई उपकरणों को नुकसान से बचाएं ईमानदारी से कहें तो, केमिकल सफाई क्षेत्र में आईआर हीटिंग लैंपों का उपयोग करना तो आग से खेलने जैसा ही है। जब...
उच्च तापमान वाली थर्मल टेप निर्माण सुविधा
फैब फ्लोर पर, फोटोरेजिस्ट को गर्म करने की प्रक्रिया कोई “वार्म-अप” चरण नहीं है; बल्कि यह वह तापीय चरण है जिसके द्वारा वाइंडथ नियंत्रित किया जाता है।...
सटीक तापमान वाला फोटोरेजिस्ट हीटर
लिथोग्राफी प्रक्रिया में, बेकिंग तापमान में 0.5°C का अंतर ही पूरे उत्पादन सेट को नष्ट करने के लिए पर्याप्त है। वेफरों पर मौजूद फोटोरेसिस्ट के लिए...