फैब फ्लोर पर, CMP के बाद होने वाला एक ही जल-निशान भी उस वेफर को नष्ट कर सकता है, जो पॉलिशिंग प्रक्रिया से गुजर चुका होता है। CMP के बाद वेफर को...

फैब फ्लोर पर, पीछे छोड़ा गया एक माइक्रोन भी यील्ड को नष्ट कर सकता है। कन्वेक्शन ओवन थर्मल बजट और कण नियंत्रण की उस सटीकता को पूरा नहीं कर पाते जिसकी...