Smettete di aspettare che il forno funzioni: i vantaggi dell’uso di riscaldamento a raggi infrarossi senza ozono
Se ancora utilizzate il riscaldamento ad aria forzata per il trattamento dei semiconduttori, in pratica passate metà della giornata ad aspettare.
Pensate a come funziona questo processo: si riscalda l’aria, e poi bisogna aspettare che quest’aria riscaldi il substrato su cui si lavora. Si tratta di un processo lento, con lunghi tempi di attesa durante ogni fase di riscaldamento o raffreddamento.
Le lampade a raggi infrarossi cambiano completamente le cose: eliminano del tutto l’intermediario necessario per il riscaldamento. Invece di riscaldare l’ambiente circostante, emettono radiazioni elettromagnetiche direttamente sul materiale da riscaldare.
È veloce. Davvero molto veloce.
I tempi di riscaldamento diminuiscono da minuti a secondi. Quando si lavora in condizioni di grande volume, tutti questi secondi risparmiati fanno la differenza: si possono processare più wafer al giorno, e il flusso di lavoro diventa effettivamente più fluido.
Tuttavia, ci sono dei problemi legati alle lampade a onde corte tradizionali: spesso emettono radiazioni intorno ai 185 nm, il che provoca la formazione di ozono. In una sala pulita, l’ozono è un vero problema: distrugge le superfici e danneggia componenti sensibili.
Ecco perché sono utili le lampade senza ozono: grazie a filamenti modificati o filtri di quarzo specifici, è possibile bloccare queste lunghezze d’onda dannose. Si ottiene così tutto il calore necessario, senza alcun effetto negativo. Inoltre, non è più necessario spendere una fortuna in sistemi per purificare l’aria.
Sono onesto: i raggi infrarossi non sono una soluzione “magica”. Poiché sono direzionali, non riescono a riscaldare uniformemente tutti i punti del componente da trattare. Se il componente ha una forma particolare, potrebbero esserci zone non riscaldate.
Non basta semplicemente inserire queste lampade in un vecchio sistema di riscaldamento ad aria forzata: è necessario impostare correttamente l’angolazione delle lampade e dei riflettori. Se il punto focale non è corretto, il riscaldamento non sarà uniforme.
Lo spazio necessario per l’impianto sarà minore, e la velocità di riscaldamento molto più alta. Ma è fondamentale scegliere con precisione la disposizione degli elementi dell’impianto. Se tutto viene fatto correttamente, allora avrete successo.