Durante la prima fase di essiccazione, viene definito il profilo del fotorest. Un cambiamento di temperatura di 5°C sulla superficie del wafer può causare distorsioni nella misurazione della distanza tra i bordi del wafer stesso, compromettendo così la qualità del prodotto finale e rendendo necessaria una rifattura costosa. Abbiamo progettato appositamente una lampada per l’essiccazione del fotorest, in modo da eliminare questa incertezza.
Cosa è importante dal punto di vista tecnico
Utilizziamo lampade ad ossigeno a onda corta, inserite in una cavità riflettente progettata per garantire una uniformità di temperatura di ±0,1°C sul wafer. La tecnologia di pyrometria integrata permette di mantenere costanti le temperature durante l’essiccazione, con una elevata ripetibilità. La testa della lampada è compatibile con ambienti puliti di classe 1–100; inoltre, i materiali utilizzati emettono pochissime sostanze tossiche e non generano particelle durante l’uso. L’isolamento in fibra di carbonio riduce la massa termica, permettendo così una rapida stabilizzazione della temperatura. Inoltre, il rivestimento in quarzo resiste ai cicli termici ripetuti. Si può prevedere che la lampada possa funzionare per oltre 5.000 ore senza perdite significative di efficienza.
Perché funziona bene
Questa unità permette di eseguire le operazioni di essiccazione del wafer, polimerizzazione del fotorest, confezionamento e pulizia, senza dover cambiare strumenti. L’elevata uniformità di temperatura riduce i problemi legati ai bordi del wafer e migliora la qualità del prodotto finale. Inoltre, il tempo necessario per l’essiccazione diminuisce, riducendo così il consumo energetico e aumentando l’efficienza del processo. I parametri del processo diventano più precisi, poiché la temperatura viene controllata in modo preciso, senza necessità di stime approssimative.
Cose da sapere
La lampada è compatibile con gli standard di interfaccia standard, ma la geometria del riflettore deve corrispondere alle dimensioni del wafer e al suo profilo. È necessario un breve periodo di collaudo per regolare i parametri del sistema PID e verificare la corretta distribuzione della temperatura nei diversi punti del processo. Operare a temperature superiori ai 650°C riduce la durata di vita della lampada; si consiglia quindi di mantenere la temperatura al di sotto di tale valore per garantire affidabilità nel tempo.