Riscaldatore per l essiccazione dei wafer dei sensori MEMS
Quando si asciugano le lastre dei sensori MEMS dopo una pulizia chimica, è necessario utilizzare calore… e bisogna farlo rapidamente. Ma ecco il...
Riscaldatore per essiccazione dei wafer post CMP
Nella sala di produzione, anche un solo difetto causato dal processo CMP può rendere inutilizzabile un chip che era riuscito comunque a superare la...
Infrarosso vs Convezione per l asciugatura delle wafer
Sul pavimento della fabbrica, un singolo micron di acqua lasciato indietro può compromettere il rendimento. I forni a convezione semplicemente non...
Modulo infrarosso per l asciugatura del fotoresist
Sulla linea di litografia, uno scostamento di mezzo grado nella cottura soft bake del fotoresist è sufficiente per far uscire il controllo della...
Essiccatore a infrarossi per wafer
Il wafer esce dal risciacquo finale e parte il conto alla rovescia. Se lo lasci troppo a lungo o gli fornisci un profilo termico non uniforme durante...