Sensor di temperatura per strumento a wafer
Come evitare che gli strumenti per la pulizia dei wafer vadano in tilt
Siano sinceri: inserire lampade a riscaldamento a infrarossi all’interno di...
Fabbrica di nastro termico ad alta temperatura
Nelle linee di litografia, la fase di riscaldamento del fotorest non rappresenta semplicemente una “fase di avvio”. Si tratta invece di una fase...
Riscaldatore a fotoresistenza a temperatura precisa
Nel processo di litografia, una variazione di temperatura di soli 0,5°C durante la fase di essiccazione può bastare per rendere inutilizzabile...