Come evitare che gli strumenti per la pulizia dei wafer vadano in tilt
Siano sinceri: inserire lampade a riscaldamento a infrarossi all’interno di una zona di pulizia chimica è come giocare con il fuoco. Quando ci sono solventi infiammabili nell’ambiente, anche la minima scintilla o un difetto nella struttura della lampada possono causare disastri.
Noi costruiamo le nostre lampade in modo che possano resistere a tali condizioni, così da non dover passare le notti in preoccupazione.
Come evitare le perdite
La più grande minaccia è rappresentata dai vapori chimici che potrebbero raggiungere i terminali elettrici. Per evitarlo, non ci limitiamo a “sigillare” le lampade: le avvolgiamo in un rivestimento multistrato. Utilizziamo materiali resistenti alle sostanze chimiche per creare una barriera che impedisca ai gas infiammabili di passare attraverso. Inoltre, grazie ai rivestimenti specifici applicati sul vetro di quarzo, si ottiene comunque il calore necessario, nonostante tutta questa protezione esterna.
Gestire il calore
Qui è fondamentale mantenere la costanza termica. Se sulla superficie del wafer si formano punti troppo caldi, si hanno problemi. Utilizziamo filamenti realizzati con precisione per garantire una distribuzione uniforme del calore.
Tuttavia, i materiali si espandono e contraggono quando vengono riscaldati. Se il sigillo e il tubo di quarzo non si muovono allo stesso ritmo, il sigillo si rompe. E quando il sigillo si rompe, la lampada smette di funzionare. Noi abbiamo calibrato perfettamente questi fattori, in modo che le lampade possano sopportare cicli rapidi di riscaldamento e raffreddamento senza problemi.
I compromessi
C’è però un problema: l’aggiunta di tutti questi elementi di protezione rende la lampada più ingombrante. La fonte di calore si trova quindi a una distanza leggermente maggiore dal wafer rispetto a quanto accadrebbe con una lampada semplice. È una differenza piccola, ma importante.
Bisogna quindi regolare i parametri di regolazione del PID e dell’alimentazione per compensare questa lieve diminuzione del calore diretto.
In definitiva, abbiamo creato queste lampade in modo che possano resistere ai fumi corrosivi, mantenendo al contempo il calore esattamente dove è necessario. Si tratta di componenti che possono essere integrati facilmente nel sistema, che rispettano tutte le norme di sicurezza e che garantiscono comunque la densità termica richiesta dal processo di produzione.