空気を加熱するのをやめよう：なぜアルミニウム製の反射板が重要なのか もし依然として熱い空気の循環に頼っているのであれば、実質的には対流に任せて待つしかありません。空気が温められ、その空気が最終的に部品に当たり、部品が温まるのです。半導体の加工においては、このような遅れは致命的です。時間が無駄になっ...

ファブリケーションライン内の湿度と戦うのはやめましょう。 正直に言って、リンス工程では温度管理が最も難しい部分です。水分を素早く取り除こうとしますが、ウェーハが汚染されないように注意しなければなりません。これは難しいバランス取りであり、結局は頭痛の種になります。 そのため、私たちは防水機能付きの赤...

エアを加熱するのをやめよう：より効率的なファブの運営方法 現在、すべてのファブは炭素中性目標を達成するために大変な努力をしています。しかし、エネルギー代を見ると、最も問題となるのはほとんどの場合、熱処理です。これは莫大なエネルギーの無駄遣いです。 従来の方法、つまり抵抗炉を使う方法は、まるでキッチ...

なぜ半導体の乾燥に金メッキ処理を施したツインチューブ型IRランプが使われるのか 半導体業界では、鉛フリーで排出ガスが出ない乾燥方法が求められています。これは難しい目標ですが、金メッキ処理を施したツインチューブ型IRランプを使うことで、その目標を達成する方法が見つかりました。 一般的な対流式オーブン...

オーブンを待つのはやめましょう：オゾンを発生させないIR加熱の利点 もし今も半導体製造に強制対流方式を使っているのであれば、実質的に半日近くを待機に費やしていることになります。 その仕組みを考えてみてください。まず空気を温め、その空気が基板を加熱するのを待つわけです。これは非常に遅いプロセスで、温...

破片の発生を防ぐ：ランプが故障したときにウェーハを清潔に保つ方法 ウェーハ製造工場では、ランプが壊れるというのは単なる「技術的な不具合」や迷惑な停止時間以上の問題です。それはまさに悪夢そのものです。 高負荷の状態で石英管が突然壊れてしまったと想像してみてください。そうなると、ガラスの破片やハロゲン...

ツールをオーブンのように使わないでください 半導体のハウジングがどうして熱くなるのか、気づいたことはありますか？ それは、一般的な赤外線ヒーターがあまりにも効率が悪いからです。赤外線ヒーターはエネルギーをあらゆる方向に放出します。狭い筐体内では、その熱が壁に当たって跳ね返り、結果として全体が巨大な...

IRランプが壊れる心配はもうしなくて済みます。 高負荷のファブでは、IRランプが爆発するというのは単なる面倒な問題ではありません。それは悪夢そのものです。一度爆発すれば、至る所にガラスの破片やハロゲンガスが散乱します。すると、大量のシリコンウェーハが廃棄処分になり、週末をその後片付けに費やさなけれ...

なぜウェーハの硬化処理にはより優れた反射器が必要なのか もし依然として半導体の深層加工に熱風を利用しているのであれば、作業の流れが妨げられていることを感じているはずです。つまり、炉が適切な温度になるのを待つ間の無駄な時間のことです。 これは時間の無駄です。そして、この業界では時間こそがすべてです。...

この装置では、最初の焼成工程でフォトレジストのプロファイルが設定されます。ウェーハの温度が5°Cも変動すると、CDがずれたり、オーバーレイが悪化したりして、高額な再作業が必要になります。私たちは、そのような不確実性を解消するために、均一な温度でフォトレジストを焼成できる装置を開発しました。 技術的...

リソグラフィー工程において、95℃での低温焼成時に、たとえ半度でも温度が変動するだけで、重要な寸法制御が乱れ、現像後に不良が発生し始めます。このようなばらつきを解決するためには、ツインチューブ式の赤外線ヒーターが最適です。このヒーターは、迅速かつ均一な熱をウェハーに与えることで、熱的均一性を維持し...

フロア上では、フリップチップボンダーが稼働音を立てている。ピック＆プレースのサイクル、アンダーフィルの塗布、そして熱プロファイルは厳密な範囲内に維持される必要がある。ランプが滑り始めると、すぐにわかる。基板全体の冷点、ボンドラインの空洞、金属間化合物のばらつき—そして不良品の山が増え始める。温度の...