湿気の多い場所で赤外線ヒーターを安全に使うために もし注意しなければ、赤外線ランプをバスルームやサウナなどに設置するのは危険です。水蒸気はとても厄介で、通常のケースの中に入り込み、漏電を引き起こします。そうなると、すぐに短絡が起こってしまいます。 そのような事態を防ぐためには、IP65等級のケース...

Lam Research社のヒーターの交換：赤外線加熱を利用してスペクトル純度を確保する 私たちが開発したこの赤外線ヒーターは、Lam Research社製のものと同等の性能を持ちながら、より手頃な価格で提供されるものです。つまり、OEM製品と同じスペクトル出力や熱応答を実現しつつ、高額なコストを...

ファブ内では、わずか0.2℃の温度変動だけで、フォトレジストのプロファイル制御が乱れてしまいます。その結果、オーバーレイやエッチングの精度も低下してしまいます。ウェハーは温度変動を許容しません。そこで私たちは、実際の状況に合わせて赤外線ヒーターを開発しました。これにより、温度のドリフトがなく、再現...