リソグラフィーの工程においては、ウェハの温度が1℃変動するだけで、線幅がナノメートル単位で変わってしまいます。また、粒子の影響により多くの製品がダメになってしまうこともあります。そのため、熱的な状態を適切に管理するために、ゾーン別に制御可能な赤外線ヒーターモジュールが導入されているのです。 技術的...

リソグラフィー工程において、95℃での低温焼成時に、たとえ半度でも温度が変動するだけで、重要な寸法制御が乱れ、現像後に不良が発生し始めます。このようなばらつきを解決するためには、ツインチューブ式の赤外線ヒーターが最適です。このヒーターは、迅速かつ均一な熱をウェハーに与えることで、熱的均一性を維持し...