화학적 세척을 마친 후 MEMS 센서 웨이퍼를 건조할 때는 열이 필요합니다. 그리고 그 열은 빠르게 공급되어야 합니다. 하지만 문제는, 가연성 용매가 있는 환경에서 이런 작업을 하는 것은 마치 불을 다루는 것과 같다는 점입니다. 비유적인 표현이 아니라, 실제로 폭발할 수도 있는 상황입니다.
그래서 우리는 특수한 적외선 램프를 사용합니다. 이 램프들 덕분에 작업 공간이 위험한 곳으로 변하지 않습니다.
밀폐된 구조 유지 일반적인 적외선 램프는 개방형 구조입니다. 휘발성 화학물질이 가득한 공간에서는 이는 큰 위험 요소가 됩니다. 작은 스파크나 과열만으로도 재앙이 발생할 수 있습니다.
이를 방지하기 위해 우리는 램프를 튼튼한 석영이나 스테인리스 스틸로 만든 케이스 안에 넣습니다. 이는 일종의 물리적 보호막 역할을 합니다. 또한 고온에 견딜 수 있는 게이지와 밀폐 장치를 사용하여, 연기가 전자 부품으로 들어가지 않고, 열도 외부로 새어나가지 않도록 합니다. 이 모든 것은 안전을 위한 조치입니다.
적절한 온도 조절 단순히 높은 온도로 웨이퍼를 가열해서는 안 됩니다. 그렇게 하면 웨이퍼가 변형될 수 있습니다. 그래서 우리는 와트수와 길이의 비율을 신중하게 조절하여 안정적인 상태를 유지합니다. 단파 적외선을 사용하면 열이 웨이퍼 표면의 액체 층을 빠르게 관통합니다. 이 방법은 빠르고 효율적입니다. 그래서 웨이퍼가 위험한 환경에 머무는 시간도 줄어듭니다.
하지만 그냥 설정해두고 내버려두면 안 됩니다. 빠르게 반응하는 PID 컨트롤러가 필요합니다. 만약 공기 흐름이 줄어들거나 컨베이어가 멈춘다면, 램프는 즉시 전력을 차단해야 합니다. 그렇지 않으면 웨이퍼가 손상될 수 있습니다.
디자인의 한계 물론 완벽한 것은 없습니다. 밀폐된 케이스는 안전을 위해 좋지만, 열을 축적시키는 역할도 합니다.
이는 어떤 의미일까요? 오픈형 램프를 사용할 때보다 웨이퍼가 가열되는 데 시간이 조금 더 걸립니다. 그러므로 프로세스 시간에 이 소요 시간을 고려해야 합니다.
마지막으로, 케이블의 접지 상태를 잘 확인해야 합니다. 일부 적외선 전원 공급장치는 고주파 스위칭을 사용하여 소음을 발생시킬 수 있습니다. 적절한 접지 처리가 중요합니다.