에너지 절약형 반도체 히터
왜 무연 반도체를 위해 적외선을 사용하는가?
반도체 산업은 “친환경적이고 무연인” 기준을 향해 나아가고 있습니다. 이는 바람직한 방향이지만, 열을 다루는 방식에 변화가 생깁니다.
오랫동안 사람들은 대류식 오븐을 사용해 왔습니다. 문제점은, 아주 작은 웨이퍼를 따뜻하게...
교체용 히팅 요소 IP65
습한 환경에서 적외선 히터를 안전하게 사용하는 방법
욕실이나 사우나와 같은 습한 곳에 적외선 램프를 설치할 때는 주의가 필요합니다. 수증기는 매우 교활해서, 램프의 외부 케이스로 침투하여 누설 전류를 유발할 수 있습니다. 그러면 곧 단락이 발생하게 됩니다.
이를 방지...
방수형 가열 테이블 IP44
5년 후의 문제점: 왜 대부분의 방수형 가열 테이블은 수리가 매우 어려운가?
대부분의 사람들은 IP44 등급을 가진 방수형 가열 테이블을 선택할 때, 오직 밀봉 상태만을 고려합니다. 물이 새지 않도록 하는 것이 중요하죠. 하지만 실제로 공장에서 일해본 사람이라면, 진...
구역별 적외선 난방 모듈
리소그래피 공정에서는 웨이퍼의 온도가 1°C만 변해도 회로선의 규격이 나노미터 단위로 달라질 수 있습니다. 또한 미세한 입자들이 존재하면 많은 양의 제품이 손상될 수 있습니다. 이러한 문제를 해결하기 위해, 공정 내부의 온도를 일정하게 유지할 수 있는 적외선 가열 모...
듀얼 튜브형 적외선 가열 램프
리소그래피 공정에서는 95°C로 약하게 가열하는 과정에서 온도가 반도그레이드만큼만 변동해도 치명적인 결과를 초래할 수 있습니다. 이때 현상 과정 후에 웨이퍼 표면에 이상한 얼룩이 생기게 됩니다. 이러한 문제를 해결하기 위해서는 쌍관형 적외선 가열 램프가 가장 효과적입...