공기를 데우는 것을 그만두세요: 알루미늄 반사체가 왜 중요한지 아직도 뜨거운 공기의 순환에 의존하고 있다면, 사실상 대류 현상이 일을 해주기를 기다리는 셈입니다. 공기가 데워지면, 그 공기가 부품으로 향하고, 그제서야 부품이 따뜻해집니다. 반도체 제조 과정에서는 이러...

팹의 세정 공정에서 습기와 싸우는 것을 그만두세요. 솔직히 말해서, 세정 단계는 열 관리가 가장 어려운 부분입니다. 빠르게 수분을 제거하려고 하지만, 웨이퍼가 오염되는 위험도 감수해야 합니다. 이는 균형을 맞추는 것이 매우 어려운 상황입니다. 그래서 우리는 방수 기능...

공기를 가열하는 것을 그만두세요: 더 효율적인 공장 운영 방법 현재 모든 공장들은 탄소 중립 목표를 달성하기 위해 엄청난 압력을 받고 있습니다. 하지만 에너지 비용을 살펴보면, 가장 큰 문제는 바로 열처리 과정입니다. 이는 엄청난 에너지 낭비입니다. 기존의 방식, 즉...

왜 반도체 건조에 금 코팅된 트윈 튜브형 적외선 램프를 사용하는가? 반도체 산업은 납이 없고 오염물질이 전혀 발생하지 않는 건조 방식을 강력하게 추구하고 있습니다. 이는 매우 어려운 목표이지만, 우리는 금 코팅된 트윈 튜브형 적외선 램프를 사용함으로써 이를 실현할 수...

오븐을 기다리는 시간을 줄이세요: 오존이 발생하지 않는 IR 가열의 장점 만약 여전히 반도체 처리에 강제 대류 방식을 사용하고 있다면, 사실상 하루 중 절반은 그저 기다리는 데 시간을 보내는 셈입니다. 어떻게 작동하는지 생각해보세요. 공기를 데우고, 그 공기가 기판을...

파편을 막아라: 램프가 고장났을 때 웨이퍼를 깨끗하게 유지하는 방법 웨이퍼 제조 공장에서 램프가 고장나는 것은 단순한 “기술적 결함”이나 성가신 가동 중단 상황이 아닙니다. 그건 진정한 재앙입니다. 고부하 상태에서 석영관이 갑자기 파손된다고 상상해보세요. 그러면 유리...

도구를 ‘오븐’으로 만드는 것을 그만두세요. 어떤 반도체 하우징들이 너무 뜨거워지는 현상을 눈치챘나요? 이는 표준적인 적외선 히터가 에너지를 사방으로 방출하기 때문입니다. 좁은 공간에서는 그 열이 벽에 부딪혀 반사되어, 결국 전체 기기가 거대한 열원이 되어버립니다....

IR 램프가 폭발하는 것에 대해 걱정하지 마세요. 고부하가 요구되는 공장에서는 IR 램프가 폭발하는 것은 단순한 문제가 아닙니다. 그것은 악몽과도 같습니다. 한 번만 폭발해도 유리 조각들과 할로겐 가스가 사방에 흩어집니다. 그러면 서버번의 실리콘 웨이퍼들이 모두 폐기...

왜 웨이퍼의 경화 과정에는 더 나은 반사체가 필요한가? 만약 여전히 반도체 처리에 열공기 순환 방식을 사용하고 있다면, 작업 과정에서 발생하는 지루한 대기 시간을 겪고 있을 것입니다. 제가 말하는 것은 바로 그 ‘대기 시간’입니다. 즉, 오븐이 적절한 온도에 도달할...

첫 번째 건조 과정에서 포토레지스트의 형상이 결정됩니다. 웨이퍼의 온도가 5°C만 변해도 CD 값이 바뀌고, 오버레이 문제가 발생하며, 비용이 많이 드는 재작업이 필요해집니다. 이러한 불확실성을 없애기 위해 우리는 균일한 온도 조절이 가능한 포토레지스트 건조용 램프를...

리소그래피 공정에서는 95°C로 약하게 가열하는 과정에서 온도가 반도그레이드만큼만 변동해도 치명적인 결과를 초래할 수 있습니다. 이때 현상 과정 후에 웨이퍼 표면에 이상한 얼룩이 생기게 됩니다. 이러한 문제를 해결하기 위해서는 쌍관형 적외선 가열 램프가 가장 효과적입...

작업 현장에서는 플립 칩 본더가 작동 중이다. 픽 앤 플레이스 사이클, 언더필 디스펜스, 그리고 열 프로파일은 엄격한 범위 내에 유지되어야 한다. 램프가 미끄러지기 시작하면 즉시 알 수 있다. 기판 전반의 냉점, 본드라인 기포, 금속간 화합물 변화—그리고 스크랩 양이...