웨이퍼 건조를 위한 적외선 대 대류

공정 현장에서의 물 한 미크론이 수율에 미치는 영향 공정 현장에서 남아 있는 물 한 미크론이 수율을 저하시킬 수 있습니다. 대류 오븐은 고급 노드에서 요구하는 열 예산과 입자 관리를 따라갈 수 없습니다. 이곳에서는 오차의 여지가 없습니다. 실제 중요한 요소 적외선 건...