클린룸 오븐 적외선 히터

왜 공기를 가열하는 대신 웨이퍼 자체를 직접 가열하지 않을까요? 대부분의 반도체 제조 공정에서는 여전히 강제로 공기를 순환시켜 가열하는 방식이 사용됩니다. 이 방식은 매우 느립니다. 먼저 공기를 가열하고, 그 공기가 챔버를 가열합니다. 운이 좋다면 결국 웨이퍼도 따뜻...