호트 플레이트 대체용 적외선 히터

제조 현장에서는, 단 0.2°C라는 작은 온도 변화만으로도 포토레지스트의 성능이 크게 저하될 수 있습니다. 그로 인해 웨이퍼의 가공 결과도 엉망이 될 수 있습니다. 웨이퍼는 온도 변동을 용납하지 않습니다. 그래서 우리는 실제 환경에 맞는 적외선 히터를 개발했습니다....