진공 환경에도 사용 가능한 적외선 히터

진공 상태에서 실리콘 웨이퍼를 가열할 때의 문제점은 바로 공기가 없다는 것입니다. 공기가 없으면 대류가 일어나지 않으므로, 오직 복사에만 의존해야 합니다. 만약 일반적인 반사체를 사용한다면, 그 소중한 에너지가 그대로 챔버 벽으로 빠져나가 버립니다. 이는 큰 낭비입니...