트윈 튜브 골드 코팅 램프
왜 반도체 건조에 금 코팅된 트윈 튜브형 적외선 램프를 사용하는가?
반도체 산업은 납이 없고 오염물질이 전혀 발생하지 않는 건조 방식을 강력하게 추구하고 있습니다. 이는 매우 어려운 목표이지만, 우리는 금 코팅된 트윈 튜브형 적외선 램프를 사용함으로써 이를 실현할 수...
듀얼 튜브형 적외선 가열 램프
리소그래피 공정에서는 95°C로 약하게 가열하는 과정에서 온도가 반도그레이드만큼만 변동해도 치명적인 결과를 초래할 수 있습니다. 이때 현상 과정 후에 웨이퍼 표면에 이상한 얼룩이 생기게 됩니다. 이러한 문제를 해결하기 위해서는 쌍관형 적외선 가열 램프가 가장 효과적입...