Di bilik pengeluaran cip, perubahan suhu sebanyak 0.2°C sahaja sudah cukup untuk merosakkan kawalan profil fotoresist. Ini seterusnya akan menjejaskan kualiti permukaan cip yang dihasilkan. Cip tidak akan bertoleransi terhadap ketidakstabilan suhu. Oleh itu, kami mencipta pemanas inframerah yang mampu memberikan suhu yang stabil, tanpa sebarang perubahan suhu, serta sesuai digunakan dalam persekitaran makmal yang bersih.
Apa yang penting dari segi teknikal
Kami menggunakan elemen inframerah berfrekuensi rendah yang memindahkan haba secara langsung ke permukaan cip dengan cepat. Kestabilan suhu di kawasan aktif cip adalah sekitar ±0.1°C. Dari satu kitaran ke kitaran seterusnya, ketepatan suhu tetap berada dalam lingkungan ±0.5°C. Ini memastikan proses pembakaran cip berjalan dengan tepat mengikut spesifikasi yang ditetapkan.
Badan pemanas diperbuat daripada kuarsa dan seramik berkualiti tinggi, tanpa bahan organik yang boleh menyebabkan pencemaran. Reka bentuknya juga memastikan penghasilan zarah yang minimum, sesuai untuk digunakan di ruang bersih kelas 1–100. Sistem kawalan pemanas ini sangat stabil, dengan inersia termal yang rendah. Ini bermakna pemanas akan mencapai suhu yang ditetapkan dengan cepat setelah cip dimasukkan ke dalam mesin, sekali gus mengurangkan masa menunggu tanpa mengorbankan ketepatan.
Mengapa ia berkesan dalam proses litografi
Dalam proses litografi, kepekaan fotoresist terhadap suhu menjadikan suhu sebagai faktor penting untuk mengawal kualiti cip. Pemanas yang stabil membantu mengurangkan jumlah cip yang perlu diperbaiki, serta memastikan pengagihan haba yang lebih tepat. Tindak balas pantas pemanas juga membantu mengurangkan penggunaan tenaga semasa proses pemanasan. Anda masih boleh menggunakan soket dan sambungan yang sama, tetapi variasi suhu dapat dikawal dengan lebih baik, seterusnya meningkatkan kualiti cip yang dihasilkan.
Apa yang perlu anda ketahui
Pemasangan pemanas ini mudah dilakukan pada platform pemanas biasa. Namun, anda perlu memastikan penempatan pemanas dan sensor berada pada kedudukan yang betul. Walaupun perbezaan kedudukan hanya beberapa milimeter, ia boleh menjejaskan ketepatan suhu yang dicapai. Pastikan voltan, arus, dan jenis sambungan sudah disahkan sebelum membuat pesanan. Selepas pemasangan, jalankan ujian pendek untuk menentukan posisi pemanas berbanding cip, dan tetapkan nilai suhu yang sesuai untuk proses pengeluaran.