Di bilik pengeluaran, satu tanda air pun setelah proses CMP boleh merosakkan die yang telah melalui proses pelinciran. Proses pengeringan wafer...

Di lantai pengilangan, satu mikron air yang tertinggal boleh merosakkan hasil. Ketuhar konveksi tidak mampu mengimbangi bajet terma dan disiplin...