Op de productielijn kan een hete plaat die zelfs maar 0,2°C afwijkt van de gewenste temperatuur, het precieze beheer van de temperatuur van de fotoresist verstoren. Dit kan vervolgens leiden tot problemen met de kwaliteit van de producten. Wafer’s kunnen geen thermische instabiliteit verdragen. Daarom hebben we infraroodverwarmingselementen ontworpen die perfect aansluiten bij de vereisten: geen afwijkingen in temperatuur, betrouwbare resultaten en een constructie die geschikt is voor een schone omgeving.
Wat technisch gezien belangrijk is:
We gebruiken kortegolfinfraroodelementen die de warmte snel overdragen op de plaat. In het actieve gebied is de uniformiteit van de temperatuur ±0,1°C. Van cyclus tot cyclus blijft de temperatuur binnen ±0,5°C, zodat de warmtetoleranties nauwkeurig worden gehandhaafd. De verwarmingselementen zijn gemaakt van kwarts en hoogwaardige keramiek – er zijn geen organische materialen gebruikt. Hierdoor wordt de vorming van deeltjes minimaal gehouden, zodat de omgeving geschikt is voor klasse 1–100. Het controlemechanisme werkt stabiel en met weinig thermische inertie. Dit betekent dat de temperatuur snel terugkeert naar de gewenste waarde na het laden van nieuwe wafer’s, waardoor er minder tijd verloren gaat zonder dat de precisie afneemt.
Waarom dit werkt in de lithografie:
In de lithografieafdeling is de gevoeligheid van de fotoresist belangrijk voor het bepalen van de temperatuur. Een stabiele hete plaat zorgt voor minder herwerkingswerkzaamheden en een betere kwaliteit van het product. De snelle reactietijd zorgt er bovendien voor dat er minder energie wordt verbruikt tijdens het opwarmen. Je kunt dezelfde aansluitingen en afmetingen gebruiken, maar je krijgt meer controle over de temperatuur. Dit zorgt voor een hogere kwaliteit van het product en minder afval.
Wat je moet weten:
Het is gemakkelijk om deze apparatuur toe te passen op standaard hete plaatplatforms. Je moet echter controleren of de positie van de sensoren correct is. Zelfs een kleine afwijking in millimeters kan invloed hebben op de uniformiteit van de temperatuur. Controleer eerst de spanning, stroomsterkte en type aansluitingen voordat je iets bestelt. Na de installatie moet je de apparatuur kort testen en kalibreren, zodat je de gewenste temperatuur kunt instellen.