Stoppen met wachten op de oven: het voordeel van IR-verwarming zonder ozon
Als je nog steeds gebruikmaakt van geforceerde luchtcirculatie voor de verwerking van halfgeleiders, dan breng je in feite de helft van你的 tijd door met wachten.
Stel je eens voor hoe dit werkt: je verwarmt eerst de lucht, en daarna moet je wachten tot die lucht het onderwerp dat je wilt verwarmen heeft opgewarmd. Het is een traag proces, met veel vertraging bij elke start- en stopprocedure.
IR-lampen veranderen dit proces drastisch. Ze vermijden het gebruik van een ‘middelaar’. In plaats van de kamer te verwarmen, stralen ze elektromagnetische golven rechtstreeks op het te verwarmen onderwerp.
Het is snel. Echt snel.
De tijd die nodig is om de lampen op temperatuur te brengen, daalt van minuten naar seconden. Als je met een hoge productievolume werkt, tellen al die bespaarde seconden op. Je kunt meer wafers per shift verwerken, en je werkproces verloopt daardoor soepeler.
Maar er is één nadeel bij standaard kortegolflampen: ze stralen meestal straling uit op een golflengte van ongeveer 185 nm. Hierdoor worden zuurstofmoleculen aangetast en wordt ozon geproduceerd. In een schone ruimte is ozon een nachtmerrie: het tast oppervlakken aan en beschadigt gevoelige onderdelen.
Daarom zijn er lampen beschikbaar die geen ozon produceren. Door gebruik te maken van aangepaste filamenten of speciale kwartsfilters, kun je deze storende golflengten blokkeren. Je krijgt dan alle warmte die je nodig hebt, zonder de nadelen van ozon. Bovendien hoef je geen enorme bedragen uit te geven aan apparaten om de lucht schoon te houden.
Eerlijk gezegd: IR is geen ‘magische oplossing’. Omdat de straling gericht is, bereikt deze de onderdelen niet even goed als lucht. Als je onderdelen een vreemde vorm hebben, zul je koude plekken krijgen.
Je kunt deze lampen niet zomaar in een oude convectiestroombox stoppen en hopen op het beste resultaat. De positie van de lampen en de reflectoren moet precies worden ingesteld. Als de focale punt niet correct is, zal de verwarming oneffen zijn.
De benodigde ruimte wordt kleiner en de snelheid is veel hoger, maar je moet wel precies werken met de indeling. Als dat lukt, heb je het perfect geregeld.