Wanneer je MEMS-sensorwafer droogt na een chemische reiniging, heb je warmte nodig – en dat snel. Maar hier ligt het probleem: dit doen in de buurt...

Omgaan met kapotte lampen bij het drogen van wafers Laten we eerlijk zijn: wanneer een infraroodlamp in een halfgeleiderfabriek kapotgaat, is dat een...

Op de fabrieksvloer kan een enkele micron water dat achterblijft de opbrengst torpederen. Convectieovens kunnen simpelweg niet voldoen aan het...

Op de lithografievloer is een drift van een halve graad in de photoresist soft bake al voldoende om de controle van de kritische dimensie (CD) uit...

De wafer komt van de laatste spoeling af en de klok begint te tikken. Laat hem te lang liggen, of geef hem een ongelijkmatig thermisch profiel...