Omgaan met kapotte lampen bij het drogen van wafers
Laten we eerlijk zijn: wanneer een infraroodlamp in een halfgeleiderfabriek kapotgaat, is dat een nachtmerrie. Het gaat niet alleen om het vervangen van de lamp zelf.
Wanneer een kwartsbuis onder zware belasting barst, vallen er scherven en deeltjes op de wafers. Hierdoor verdwijnt de productie, en het team moet urenlang bezig zijn om de kamer schoon te maken. Het is een chaos die niemand wil meemaken.
Waarom barsten deze buizen eigenlijk?
Meestal komt het door thermische schokken. Wanneer er hoge spanningen worden toegepast, ontstaan er grote temperatuurschommelingen in de kwartsbuis. Als de warmte niet gelijkmatig wordt verspreid, ontstaat er spanning op één plek – tot de buis uiteindelijk breekt.
Om dit te voorkomen, gebruiken we hoogzuiver gefuseerd kwarts. Dit materiaal heeft een lage koortscoëfficiënt, waardoor het beter bestand is tegen schokken. Ook kunnen de spanningen snel worden veranderd, zonder dat de buis beschadigd raakt.
Het voorkomen van vuil
Ook met het beste kwarts kunnen er problemen ontstaan. Daarom gebruiken we een tweeledig veiligheidsmechanisme om de wafers schoon te houden. Eerst wordt er een speciale laag op de buis aangebracht. Deze laag helpt om de IR-uitstraling te stabiliseren, zodat er geen hete punten ontstaan. Vervolgens wordt de hele constructie omhuld met een broeksbestendige behuizing. Dit fungeert als een soort beschermlaag. Als de binnenste buis kapotgaat, worden alle scherven opgevangen. De deeltjes blijven dus op hun plek, zodat de wafers schoon blijven.
Kleine details die grote problemen veroorzaken
Tijdens de installatie maken veel mensen fouten. Als de connectors niet goed passen, ontstaan er losse contactpunten. Dit leidt tot elektrische schokken, waardoor er kleine hittepunten ontstaan die de kwartsbuis op den duur beschadigen.
Houd ook rekening met je stroomvoorziening. Als er schokken in de stroomvoorziening optreden, maakt het niet uit hoe kwalitatief hoogwaardig de lamp is: hij zal vroeg of laat kapotgaan.
Tip: Houd goed in de gaten wat de temperatuur van de behuizing is. Dit is de gemakkelijkste manier om problemen op te sporen voordat ze zich voordoen.