При сушке пластин с датчиками MEMS после химической чистки необходимо использовать тепло – и делать это как можно быстрее. Но вот проблема: работа в условиях наличия легковоспламеняющихся растворителей похожа на работу с огнем. Речь идет не о метафоре, а о реальной опасности взрыва.
Поэтому мы используем специализированные инфракрасные лампы. Они выполняют свою функцию без создания опасной зоны в рабочем пространстве.
Обеспечение герметичности
Стандартные инфракрасные лампы имеют открытую конструкцию. В помещении, полном летучих химических паров, это представляет серьезную опасность. Один искра или перегрев элемента может привести к катастрофе.
Чтобы этого избежать, мы помещаем лампы в прочный корпус из кварца или нержавеющей стали. Это своего рода физический щит. Мы также используем уплотнители высокой температуры, чтобы предотвратить проникновение паров в электронику и утечку тепла, что могло бы привести к образованию опасных очагов нагрева на корпусе устройства. Все это делается для обеспечения безопасности.
Управление температурой
Нельзя просто подвергать пластины сильному нагреву – это может привести к их деформации. Мы тщательно контролируем соотношение мощности и длины пластин, чтобы сохранить стабильность процесса. Благодаря использованию коротковолнового инфракрасного излучения тепло быстро проникает сквозь жидкостную пленку на поверхности пластины. Это позволяет сократить время нахождения пластин в опасной зоне.
Но нельзя просто настроить параметры и забыть о них. Необходим контроллер типа PID, который будет мгновенно отключать питание ламп в случае снижения потока воздуха или сбоя в работе конвейера. В противном случае пластины могут сгореть, а сам корпус – разрушиться.
Реалии конструкции
Ничто не является идеальным. Герметичный корпус хорош с точки зрения безопасности, но он увеличивает тепловую массу устройства.
Что это значит для вас? Время достижения нужной температуры будет немного больше, чем при использовании лампы без герметичного корпуса. Вам потребуется учитывать этот фактор при планировании процесса.
Еще один совет: обращайте внимание на защиту кабелей. Некоторые источники питания инфракрасных ламп используют высокочастотную коммутацию, что может привести к появлению шумов в оборудовании MEMS. Правильное заземление поможет избежать этой проблемы.