Üretim alanında, CMP işleminden sonra meydana gelen bir su izi bile, parlatma işleminden geçmiş olan çiplerin bozulmasına neden olabilir. CMP sonrası waferlerin kurutulması sadece isteğe bağlı bir işlem değil; aksine zorunlu bir adımdır. Isıtıcının doğru şekilde çalışmaması durumunda yüzeyin düzgünlüğü bozulur ve bu kusurlar litografi işlemlerine taşınır. Biz de CMP sonrası kurutma işlemleri için ısıtıcıları bu gerçeklere göre tasarladık: Sıfır partikül üretimi, waferin her noktasında ±0,1°C’lik termal düzenlilik ve üretim süreçlerinde tutarlılık sağlanması. Spesifikasyonlar ancak waferin gerçekte karşılaştığı koşullarla eşleştiğinde faydalı olur. Isıtıcılar, kuvars yapılar içinde düşük termal kütleli ve hızlı tepki veren kısa dalga infrared elemanlardan oluşur. Kapı açılıp kapandığında sıcaklık hızla dengelenir. Kontrol, kalibre edilmiş sensörler aracılığıyla kapalı döngü şeklinde yapılır. Böylece her türlü ısıl işlem sırasında fotoresistin sıcaklık hassasiyeti korunur. Temiz oda standartları da gerektiği gibi uygulanır: Yapıştırıcıların gaz salımı olmaz, bağlantı noktaları mühürlenir ve yüzey pürüzsüz olur. Bunun sonucunda partikül sayısı azalır ve üretim verimliliği artar. Bu sistem, kabul edilemez olan değişkenlikleri ortadan kaldırır. Düzenli bir kurutma işlemi sayesinde partikül sayısı azalır ve üretim verimliliği artar. Enerji tüketimi ise düşük kalır; çünkü termal kütle düşüktür ve çalışma saatleri yüksektir. Sahadaki verilerimize göre, cihazlar 7/24 kesintisiz olarak çalışabilmektedir. Termal bütçe kontrol altına alındığında işlem süreçleri daha kolay hale gelir ve fotoresist profilleri her seferinde spesifikasyonlar dahilinde kalır. Kurulum basittir, ancak hizalama zorunludur. Isıtıcının, chuck ile aynı düzlemde olması ve gaz perdesiyle uyumlu çalışması gerekir. Aksi takdirde, mükemmel sıcaklık kontrolü bile waferin kenarlarında sorunlara yol açar. Profili belirlemek ve PID değerlerini ayarlamak için kısa bir test süreci gereklidir. Bundan sonra ise her zaman uyguladığımız yöntemler devreye girer: Ölçme, kontrol etme ve kaydetme.