MEMS sensör yongası kurutma ısıtıcısı
Kimyasal temizleme işleminden sonra MEMS sensör yongalarını kuruturken ısıya ihtiyaç duyulur ve bu ısının hızlı bir şekilde sağlanması gerekiyor....
Fabrika kurutma işlemi için enerji denetimi
Wafer Kurutma Sürecinde Lamba Arızalarıyla Başa Çıkma Yöntemleri
Dürüst olalım: Bir yarı iletken fabrikasında bir kızılötesi lamba bozulduğunda bu...
CMP sonrası yonga kurutma ısıtıcısı
Üretim alanında, CMP işleminden sonra meydana gelen bir su izi bile, parlatma işleminden geçmiş olan çiplerin bozulmasına neden olabilir. CMP sonrası...
Kızılötesi vs Konveksiyon ile Wafer Kurutma
Fabrika alanında, geride kalan tek bir mikron su verimi torpilleyebilir. Konveksiyonlu ocaklar, ileri düzey düğümlerin talep ettiği termal bütçeye ve...
Fotoresist kurutma kızılötesi modülü
Lithografi katında, fotoresist yumuşak fırınlama sırasında yarım derece kayma, kritik boyut (CD) kontrolünün tolerans dışına çıkması için yeterlidir....
Wafer kurutma kızılötesi ısıtıcı
Wafer, son durulama işleminden çıkar ve zaman işlemeye başlar. Çok uzun süre bekletirseniz ya da kurutma sırasında düzensiz bir termal profil...