
IR yarı iletken ısıtıcılarla doğru sıcaklığı elde etme
Fabrikanızın karbon ayak izini azaltmak istiyorsanız, kızılötesi (IR) ısıtıcıları kullanmak akıllıca bir adımdır. Tüm fırını ısıtarak enerji israf etmek yerine, IR ısıtıcılar doğrudan hedefe yönelir.
Ancak burada bir sorun var: Sadece ayarları yapıp unutmak yeterli değil. Eğer doğru ayarları yapmazsanız, waflarınız zarar görebilir. Pahalı malzemeleri boşa harcamadan yeşil enerji hedeflerine ulaşabilmek için, IR ısıtıcıların şiddetini takip edebilecek bir termokupl sistemine ihtiyaç vardır.
Gecikme sorunu
IR ısıtıcılar inanılmaz hızlı şekilde ısınır. Eğer termokupl yeterince hızlı tepki vermezse, sistem farkına varmadan hedef sıcaklığa ulaşılmış olur. Bu da wafların zarar görmesine neden olur. Genellikle Type K veya Type N tipi termokupller kullanılır; çünkü bunlar PID kontrol cihazlarına gerçek zamanlı veriler sağlar. Böylece ışık kaynakları sadece ihtiyaç duydukları kadar güç kullanır. Bu daha basit, daha temiz ve gezegen için de daha iyidir.
Dengeli bir yaklaşım
Temiz odalarda kirlilik büyük bir sorundur. Gaz salınımını engellemek için sensörlerin üzerine kimyasal olarak inert kaplamalar kullanılır. Ayrıca probun boyutu da önemlidir. Kalın problar dayanıklı olsa da tepki verme süreleri uzundur. Biz genellikle daha ince teller kullanarak tepki sürelerini azaltmayı tercih ederiz. Ancak montaj sırasında dikkatli olmak gerekir; çünkü bunlar kırılgandır ve dikkatsiz davranıldığında teller kolayca kırılabilir.
En uygun noktanın bulunması
Bu sensörleri IR ısıtıcı dizisinde doğru şekilde yerleştirmek oldukça zordur. Eğer termokupl çok uzakta olursa, sadece havanın sıcaklığını ölçersiniz; bu da işe yaramaz. Ama çok yakın olursa, IR ışınları doğrudan sensöre çarpar ve bu da “sıcaklık sapmalarına” neden olur. Böylece waftaki gerçek sıcaklıktan çok daha yüksek bir değer elde edilir. Doğru okuma elde etmek için sensör ile ısıtıcının odak noktası arasında bir denge bulmak gerekir. Bu iş biraz sabır ve kalibrasyon gerektirir; ancak enerji tasarrufunun verimliliği olumsuz etkilememesi için tek yol budur.